异丙醇蒸汽干燥晶圆法在半导体制程中，大多数的朋友对于晶圆干燥的印象还停留在旋转式甩干机（SRD）的阶段。晶圆旋转式甩干是目前最普遍的一种晶圆甩干方式，但是在很多工序中，并不太适合用旋转式甩干机，那么IPA（异丙醇）蒸汽干燥就派上了大用途，那么IPA蒸汽干燥有什么优势？又是怎么进行晶圆干燥的呢？

　　什么是旋转式甩干机？之前的文章已有介绍，可以查看：旋转式甩干机的缺点？晶圆破损风险：晶圆在旋转过程中，如果不被正确地固定或者旋转速度过高，可能会导致晶圆脱落或者破裂。不能处理非圆形的物体：旋转式甩干机通常只能处理圆形的物体，如晶圆。对于非圆形或者有规则形状的物体，可能无法实现有效的干燥。

　　液体飞溅：旋转式甩干机在工作时，因为是高速旋转，可能会产生液体飞溅，这不仅可能对操作人员造成安全隐患，还可能污染工作环境。什么是IPA（异丙醇）？之前的文章已有介绍，可以查看：聊聊IPA在芯片制造中的作用IPA蒸汽干燥晶圆的工艺步骤1，晶圆在药液中中清洗以去除表面的污染物。2，将晶圆放入充满IPA蒸汽的腔室中。在腔室中，IPA蒸汽会与残留在晶圆表面的药液混合，形成一个含有IPA和药液的混合液。

　　3，通过加热或降低压力，使混合液从晶圆表面蒸发，从而将晶圆干燥。4，从腔室中取出干燥的晶圆，以进行后续的制程步骤。IPA蒸汽干燥晶圆的原理该工艺利用了IPA的挥发性与混溶性强的特点。混溶性是指IPA与药液能够实现混溶，形成一个混合液体。由于IPA挥发性强的特点，IPA会在一定条件下迅速挥发，并带走混溶的药液，从而达到干燥晶圆的目的。